我所改造项目“长工作距干涉显微镜系统”通过验收
“长工作距干涉显微镜测试系统”是自行设计自主研制的物体表面形变测试设备,主要利用已有的长工作距显微镜,研制新的光学诊断系统,实现了长工作距离情况下物体微纳尺度表面形变的定量测试,为物体表面形变的实验研究、材料生长界面观测以及微重力科学问题等交叉学科的研究提供了先进的技术手段。它集光学工程、图像处理、计算机控制、显微技术于一体,采用非接触式的表面形貌光学测量技术,将干涉技术、长工作距显微镜技术、图像采集及处理技术、相移技术等结合,实现纳米量级的垂直测量分辨率,工作距离达
验收前测试专家组对该系统进行现场测试,认为设备各项功能达到合同书规定,若干技术指标高于合同书要求。在听取项目负责人项目总结报告后,测试专家组和验收专家组给予其一致好评,建议尽快申请国家发明专利。