中科院老科技工作者协会力学分会于2014年9月12日上午在力学所举办了学术沙龙，主题是“半导体超精细加工应用纳米聚晶金刚石的前景”。中科院半导体所、微电子所、电子所、力学所以及中国电子科技集团公司、中国电子材料协会、晶龙公司等单位的20余位专家参加了学术沙龙。

力学分会邵丙璜研究员做了题为“纳米聚晶金刚石在半导体超精细加工中的应用”的主旨报告。他详细论述了爆炸合成类球状纳米聚晶金刚石在加工高平整度晶片中的应用可能性，并提出聚晶金刚石微粉还可能用于太阳能光伏晶片的制备。

会议展开了热烈充分的讨论，众多专家对此类聚晶金刚石微粉在晶片高精度加工中的应用予以了肯定。他们指出类球状纳米聚晶金刚石作为研磨材料，研磨效率高，可有效减少晶片表面划痕，有利于减少最后的抛光工作量；至于太阳能光伏电池晶片，出于提高光能转化率的需要，不是追求表面的高平整度而需适度毛化，因而并非是金刚石微粉的主要应用领域；但聚晶金刚石粉可以考虑在光学件加工的应用。此外，不少专家认为，研发合成金刚石技术还需要继续加强与产业部门的合作，并注意降低成本优化工艺，以利于在产业中扩大应用。

本次学术沙龙还宣讲了两个邀请报告，分别是电子所韩立研究员的“电子束加工技术的新应用”和中国电子科技集团46所徐永宽的“4H-Sic表面抛光技术研究”。与会者对它们均表现了极大的兴趣和关注。

王柏懿主持沙龙会场

邵丙璜研究员做主题报告

原院高技术局局长桂文庄发言

白以龙院士发言